Caractérisation large bande en ligne coplanaire de couches minces ferroélectriques

Serge De Blasi 1 Hussein Kassem 2 Patrick Queffelec 1 Alexis Chevalier 3 Anthony Rousseau 4 Maryline Guilloux-Viry 4 André Perrin 4
1 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192)
2 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance
3 Lab-STICC_UBO_MOM_MF
Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance, UBO - Université de Brest
4 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Résumé : Nous avons présenté dans cet article une méthode de caractérisation " large-bande " de films minces ferroélectriques à partir de la mesure sous pointes d'une ligne coplanaire incorporant le film. Nous avons caractérisé un film mince de KTN de 0.5μm d'épaisseur jusqu'à 50 GHz. Nous avons quantifié les erreurs liées aux hypothèses simplificatrices de l'analyse électromagnétique rendue nécessaire par le caractère destructif de la méthode et dont le domaine de validité est limité. Enfin, la complexité de la correction des erreurs systématiques dans le cas de la caractérisation des couches minces ferroélectriques a été mise en évidence
Type de document :
Communication dans un congrès
JCMM 2006 : 9èmes journées de caractérisation microondes et matériaux, Mar 2006, St Etienne, France. 2006
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Contributeur : Alexis Chevalier <>
Soumis le : mardi 19 mars 2013 - 09:04:04
Dernière modification le : samedi 24 mars 2018 - 01:40:18
Document(s) archivé(s) le : jeudi 20 juin 2013 - 10:12:12

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Serge De Blasi, Hussein Kassem, Patrick Queffelec, Alexis Chevalier, Anthony Rousseau, et al.. Caractérisation large bande en ligne coplanaire de couches minces ferroélectriques. JCMM 2006 : 9èmes journées de caractérisation microondes et matériaux, Mar 2006, St Etienne, France. 2006. 〈hal-00801331〉

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