Caractérisation large bande en ligne coplanaire de couches minces ferroélectriques
Abstract
Nous avons présenté dans cet article une méthode de caractérisation " large-bande " de films minces ferroélectriques à partir de la mesure sous pointes d'une ligne coplanaire incorporant le film. Nous avons caractérisé un film mince de KTN de 0.5μm d'épaisseur jusqu'à 50 GHz. Nous avons quantifié les erreurs liées aux hypothèses simplificatrices de l'analyse électromagnétique rendue nécessaire par le caractère destructif de la méthode et dont le domaine de validité est limité. Enfin, la complexité de la correction des erreurs systématiques dans le cas de la caractérisation des couches minces ferroélectriques a été mise en évidence
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